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據麥姆斯咨詢報道，NANUSENS的NEMS（Nano Electro Mechanical Systems）傳感器采用標準的CMOS工藝和掩膜技術制造而成。在NANUSENS的工藝中，使用HF蒸汽（vHF）通過鈍化層中的焊盤開口蝕刻金屬層間介電質（IMD），以獲得納米傳感器的傳感結構。然后將孔洞密封，根據需要對芯片進行封裝。由于該傳感器僅采用了標準的CMOS工藝，并且能夠直接和所需要的有源電路集成，因此，這款傳感器能夠獲得和CMOS器件一樣的高良率。

Q：能否詳細介紹一下你們的技術起源？

Josep Montanya i Silvestre：我們的技術源自Boalab Microsystems在過去10多年里的研究積累。該公司在2014年因為某些戰略決策問題而倒閉了。核心員工團隊后來創立了Nanusens。

Nanusens公司的CMOS NEMS制造工藝

Q：請介紹一下你們目前的融資情況？

Josep Montanya i Silvestre：Nanusens目前已經完成融資210萬美元，來自Barcelona （巴塞羅那）的Inveready和Caixa Capital Risc領投，跟投方包括來自荷蘭的Dieco Capital。

如我剛才所述，Nanusens受益于此前Baolab Microsystems的所有研究成果，Baolab Microsystems在倒閉前已經融資1200萬美元。

Q：你們目前面臨的主要挑戰有哪些？

Josep Montanya i Silvestre：我們的主要挑戰是按照融資要求完成產品開發，快速地開拓市場。我們目前的投資方給予了全力支持，完成了新一輪融資。不過，它們是種子輪融資，因此，在投資額方面有很多限制。我們已經按照融資要求，將首款產品推向了市場。我們目前正在尋求新的投資，以加速這款產品及其它新產品的開發，以避免潛在的機遇延誤。

Q：你們的公司愿景是什么？未來5~10年將如何發展？

Josep Montanya i Silvestre：我們公司的愿景是為多種MEMS傳感器創建新的標準。它們需要從MEMS轉向NEMS，亦即從微米級轉向納米級，能夠獲得更好的器件性能和可靠性。并且，它們還需要從各自的工藝，轉而采用標準的CMOS工藝，以獲得量產成本優勢，更快的產品上市時間，以及更高的產能和第二貨源。

Q：你們今年的產品規劃是？2018年的主要里程碑包括？

Josep Montanya i Silvestre：2018年首要實現的里程碑是將我們的首款慣性傳感器產品完成上市，預計將于2018年第二季度進行。除此之外，我們計劃在2017年末或2018年初完成新一輪融資，幫助我們進一步加快開發，降低延誤市場機遇的風險。

Q：你們現在在尋求產業合作伙伴嗎？如果是，你們需要哪些類型的合作伙伴？

Josep Montanya i Silvestre：我們是一家Fabless半導體企業，我們的供應鏈很清晰，從GLOBAL FOUNDRIES（格羅方德）開始，它們提供CMOS晶圓代工服務，最后是來自中國的EDOM等分銷商，它們都是頂級的合作伙伴。

不僅如此，雖然我們的技術已經擁有許多用戶案例和應用，我們仍將繼續開拓合作伙伴，與其它希望利用我們技術解決特定應用的半導體公司合作，或者進行戰略投資，或者建立聯合開發合作關系。我們采用CMOS工藝制造的納米傳感器，可以嵌入所有的CMOS IC。這將帶來更多可能，而這不是我們能夠單獨完成的。