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微型化加工和超精密加工機床行業是一個雖然不大但是很精細的行業。在德國，大約有5~6家企業可以提供這種在成形精度和表面質量方面達到納米級的高精密機床。據位于Salem的Kugler有限責任公司股東總經理LotharKugler估計，在德國，微型化和超精密機床按價值計算的市場容量大約為1500萬歐元。在爭取客戶的過程中，外國的競爭者，特別是美國的制造商們扮演著非常重要的角色。Kugler在論述其原因時說道：“從傳統意義上講，美國制造商在超精密切削加工方面要領先一步，因為是他們在軍事技術中開發了這種高科技的機器，他們在此中進行了許多投資并不斷地進行開發工作。”德國的制造廠商們在軍事技術的應用方面過于保守，并因此錯失了在金剛石車削和銑削方面和先進技術接軌的機會。但是他認為，這并不涉及微型化加工�！拔艺J為，在這方面，我們要比美國企業先進得多。日本企業也是我們應當認真對待的競爭者。”

圖示1 ?Kugler有限責任公司股東總經理LotharKugler說：“能夠進行切削加工和激光加工的組合機床是發展的趨勢。

在談到增長率方面的問題時，Kugler認為：“在可以用微型化和超精密機床加工的產品以兩位數的增長率增加的同時，機床的增長率卻是一位數。”按照他的觀點，此中原因在于一些沒有解決的問題�！袄�如，如果涉及到要將一個30μm的銑刀進行可重復地裝夾，同時具有很高的同心性精度的話，那么對目前可使用的主軸來說要求就過高了�！绷硪粋�問題是主軸升溫的問題，這個問題目前還不能按照使用所謂的“納米銑刀”進行超精密加工的要求進行控制。Aachen的Frauenhof 生產技術研究所的超精密機床組組長Christian Wenzel也認為：“熱穩定性問題是最困難的課題之一。”他把對超精密加工機床的要求歸結為以下幾點：“特別高的定位和重復精度，非常高的軸的相互位置精度以及很好的減振性能�！币虼遂o液壓或加預應力的氣體靜力導向裝置是不可放棄的標準設備，或根據應用情況采用直線電動機等等。

可以達到4-5nm的表面光潔度

在加工中幾乎全部使用單晶體金剛石的切削刀具。這種切削材料的優點是其硬度特別高，而且可以產生出具有原子狀態銳度的切削刃。只有具備在亞微米范圍的切削刃銳度，才可以制造出具有光學質量的只有幾個納米的光潔度表面。Wenzel說：“使用一個很好的協調的系統是可以達到4--5nm的表面光潔度的。”形狀精度取決于要制造的工件的外部形狀。他說：“平面加工的形狀精度約為100nm-100mm之間。”

Wenzel說：“采用超精密加工主要為了直接制造光學鏡組，如接觸透鏡和激光鏡組等，或者為了制造注塑模具。并可以普遍地對塑料和有色金屬材料進行切削加工，如黃銅、銅、鋁、鎳等�！� 令超精密加工廠商遺憾的是，因為金剛石和碳有著很高的親和性，因此它不能用于加工鋼材。Kugler說道：“目前這是不可能的。當然，研究人員正在著手解決這個問題。例如，使用金剛石刀具進行超聲波支持的鋼材加工。”目前仍在采用替代技術，如研磨、激光加工或鋼材涂層等。

組合機床是發展趨勢

激光加工可以作為獨立的工藝方法使用，也可以和研磨結合采用，在此種情況下用激光打平工件表面上的磨紋。據Kugler估計，能夠進行切削加工和激光加工的組合機床是發展的趨勢。

在微型化加工時，工件和刀具的裝卸輸送可以實現自動化，與此不同的是，超精密加工機床的裝卸輸送還是人工作業。預計這一點正在補救解決，Kugler說：“我們正在和生產技術研究所合作，設法用機器人自動并可重復地更換直徑為微米范圍的刀具�！蹦壳笆褂玫淖钚〉毒咧睆皆�30μm之下。

其他研究項目的宗旨在于加強德國制造商的競爭能力。例如，一個課題小組在“微型結構”項目的框架內正在研制一臺對輥筒進行超精密加工的機床。想要加工直徑為200~600mm、長度為500~2000mm，晶體結構尺寸為5~150μm的輥筒。機床需配備高精密度的金剛石刀具測量裝置，以便實現自動化更換刀具。該項目執行單位Karlsruhe研究中心的Michael Petzold 說：“該項目進展很快，已經可以制造和試驗一臺展示型機器了。”Kugler在他的產品目錄中已經列上了一種輥筒車床：TDM -1150型超精密車床，可以對直徑最大為300mm、長度最大為1500mm、晶體結構尺寸為3~200μm的輥筒進行結構加工。研制小組的最新產品是一個能滿足超精密加工要求的小型旋轉-擺動裝置，該裝置帶有能產生高動能的高轉矩電動機�！拔艺J為，我們是世界上惟一能提供這種產品的廠家�！�