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真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，真空熱處理可以實現幾乎所有的常規熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。

這種技術通常適用于金屬材料或工件的真空回火、退火、淬火、滲碳、固溶以及時效處理。與空氣加熱技術相比，節能5%，節材3%~5%；熱處理過程零排放。

目前，此技術普及率約10%；“十二五”預計推廣比例20%。