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GB/T 32189-2015氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法

來源：標準在線網

中文名稱：氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法

英文名稱：Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope

標準號：GB/T 32189-2015

標準類型CN

發布日期：2015-12-10

實施日期：2016-11-1

摘要：

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GB/T 32189-2015氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法