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中文名稱(chēng)：砷化鎵外延層厚度紅外干涉測(cè)量方法

英文名稱(chēng)：Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 8758-2006

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型CN

發(fā)布日期：2006-7-18

實(shí)施日期：2006-11-1

摘要：本標(biāo)準(zhǔn)適用于砷化鎵外延層厚度的測(cè)量，測(cè)量厚度大于2UM。要求襯底材料的電阻率小于0.02，外延層的電阻率大于0.1 。

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