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GB/T 19921-2005硅拋光片表面顆粒測試方法

中文名稱:硅拋光片表面顆粒測試方法

英文名稱:Test method of particles on silicon wafer surfaces

標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 19921-2005

標(biāo)準(zhǔn)類型CN

發(fā)布日期:2005-9-19

實(shí)施日期:2006-4-1

摘要: 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了應(yīng)用掃描表面檢查系統(tǒng)對硅拋光片表面顆粒進(jìn)行測試,計(jì)數(shù)和報(bào)告的程序。

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