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中文名稱：硅拋光片表面顆粒測試方法

英文名稱：Test method of particles on silicon wafer surfaces

標準號：GB/T 19921-2005

標準類型CN

發布日期：2005-9-19

實施日期：2006-4-1

摘要： 本標準規定了應用掃描表面檢查系統對硅拋光片表面顆粒進行測試，計數和報告的程序。

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