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> GB/T 19444-2004硅片氧沉淀特性的測定-間隙氧含量減少法
GB/T 19444-2004硅片氧沉淀特性的測定-間隙氧含量減少法
來源:
標準在線網
中文名稱:
硅片氧沉淀特性的測定-間隙氧含量減少法
英文名稱:
Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction
標準號:
GB/T 19444-2004
標準類型
CN
發布日期:
2004-2-5
實施日期:
2004-7-1
摘要:
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