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GB/T 29844-2013用于先進集成電路光刻工藝綜合評估的圖形規范

中文名稱：用于先進集成電路光刻工藝綜合評估的圖形規范

英文名稱：Specifications for metrology patterns for the evaluation of advanced photolithgraphy

標準號：GB/T 29844-2013

標準類型CN

發布日期：2013-11-12

實施日期：2014-4-15

摘要：

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