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中文名稱：300 mm硅單晶拋光片

英文名稱：300 mm polished monocrystalline silicon wafers

標準號：GB/T 29506-2013

標準類型CN

發(fā)布日期：2013-5-9

實施日期：2014-2-1

摘要：本標準規(guī)定了直徑300mm、p型、<100>晶向、電阻率0.5Ωocm～20Ωocm規(guī)格的硅單晶拋光片的術語、技術要求、試驗方法、檢測規(guī)則以及標志、包裝、運輸、貯存等。 本標準適用于直徑300mm直拉單晶磨削片經(jīng)雙面拋光制備的硅單晶拋光片，產(chǎn)品主要用于滿足集成電路IC用線寬90nm技術需求的襯底片。

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