GB/T 29504-2013300 mm硅單晶
中文名稱：300 mm硅單晶
英文名稱：300 mm monocrystalline silicon
標準號：GB/T 29504-2013
標準類型CN
發布日期：2013-5-9
實施日期：2014-2-1
摘要：本標準規定了直徑300mm 、 p型、<100>晶向、電阻率0.5Ωocm～20Ωocm硅單晶的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存等。
本標準適用于由直拉法制備的硅單晶，主要用于制作滿足集成電路IC用線寬0.13μm及以下技術需求的300mm硅單晶拋光片。
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