GB/T 6624-2009硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗(yàn)方法
中文名稱：硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗(yàn)方法
英文名稱：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 6624-2009
標(biāo)準(zhǔn)類型CN
發(fā)布日期：2009-10-30
實(shí)施日期：2010-6-1
摘要：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在一定光照條件下，用目測檢驗(yàn)單晶拋光片（以下簡稱拋光片）表面質(zhì)量的方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅拋光片表面質(zhì)量檢驗(yàn)。外延片表面質(zhì)量目測檢驗(yàn)也可參考本方法進(jìn)行。
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