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中文名稱：硅外延用三氯氫硅化學分析方法　硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定　電感耦合等離子體質譜法

英文名稱：Trichlorosilane for silicon epitaxy—Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenum and antimony content—Inductively coupled plasma mass spectrometric method

標準號：GB/T 29056-2012

標準類型CN

發布日期：2012-12-31

實施日期：2013-10-1

摘要：本標準規定了用電感耦合等離子體質譜儀測定硅外延用SiHCl3中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等痕量元素含量的方法。 本標準適用于硅外延用三氯氫硅中硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷、銻等含量的測定。

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