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GB/T 31351-2014碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法

中文名稱：碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法

英文名稱：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers

標準號：GB/T 31351-2014

標準類型CN

發布日期：2014-12-31

實施日期：2015-9-1

摘要：

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