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GB/T 16880-1997光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則

中文名稱：光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則

英文名稱：Guidelines for photomask defect classification and size definition

標準號：GB/T 16880-1997

標準類型CN

發布日期：1997-6-20

實施日期：1998-3-1

摘要：

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