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GB/T 16879-1997掩模曝光系統精密度和準確度的表示準則

中文名稱：掩模曝光系統精密度和準確度的表示準則

英文名稱：Guidelines for precision and accuracy expression for mask writing equipment

標準號：GB/T 16879-1997

標準類型CN

發布日期：1997-6-20

實施日期：1998-3-1

摘要：

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