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GB/T 16878-1997用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規(guī)范

中文名稱：用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規(guī)范

英文名稱：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture

標準號：GB/T 16878-1997

標準類型CN

發(fā)布日期：1997-6-20

實施日期：1998-3-1

摘要：

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