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GB/T 16524-1996光掩模對準標記規范

中文名稱：光掩模對準標記規范

英文名稱：Specification for registration marks for photomasks

標準號：GB/T 16524-1996

標準類型CN

發布日期：1996-9-9

實施日期：1997-5-1

摘要：

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