GB/T 15862-2012離子注入機通用規范
中文名稱：離子注入機通用規范
英文名稱：General specification of ion implantation equipment
標準號：GB/T 15862-2012
標準類型CN
發布日期：2012-11-5
實施日期：2013-2-15
摘要：本標準規定了離子注入機的術語、產品分類、技術要求、試驗、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存。
本標準適用于半導體工藝用電能離子注入機。其它離子注入機亦可參照使用。
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