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中文名稱：離子束蝕刻機(jī)通用規(guī)范

英文名稱：General specification of ion beam etching system

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 15861-2012

標(biāo)準(zhǔn)類型CN

發(fā)布日期：2012-11-5

實(shí)施日期：2013-2-15

摘要：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子束蝕刻機(jī)的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機(jī)。其它專用離子束蝕刻機(jī)亦可參照執(zhí)行。

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