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GB/T 31227-2014原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法

中文名稱：原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法

英文名稱：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

標準號：GB/T 31227-2014

標準類型CN

發布日期：2014-9-30

實施日期：2015-4-15

摘要：

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