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GB/T 31225-2014橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法

中文名稱：橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法

英文名稱：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer

標準號：GB/T 31225-2014

標準類型CN

發(fā)布日期：2014-9-30

實施日期：2015-4-15

摘要：

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