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中文名稱：硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法

英文名稱：Polycrystalline silicon-examination method-assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

標準號：GB/T 4061-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準規定了以三氯氫硅和四氯化硅為原料在還原爐內用氫氣還原出的硅多晶棒的斷面夾層化學腐蝕檢驗方法。 本標準關于斷面夾層的檢驗適用于以三氯氫硅和四氯化硅為原料，以細硅芯為發熱體，在還原爐內用氫氣還原沉積生長出來的硅多晶棒。

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