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GB/T 4060-2007硅多晶真空區熔基硼檢驗方法

來源：標準在線網

中文名稱：硅多晶真空區熔基硼檢驗方法

英文名稱：Polycrystalline silicon—Examination method—Vacuum zone-melting on boron

標準號：GB/T 4060-2007

標準類型CN

發布日期：2007-9-11

實施日期：2008-2-1

摘要：本標準適用于多晶硅沉積在硅芯上生長的多晶硅棒基硼的檢驗。

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