GB/T 4059-2007硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法
中文名稱:硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法
英文名稱:Polycrystalline silicon—Examination method—Zone-melting on phosphorus under controlled atmosphere
標準號:GB/T 4059-2007
標準類型CN
發布日期:2007-9-11
實施日期:2008-2-1
摘要:本標準適用于多晶硅沉積在硅芯上生長的多晶硅棒基磷的檢驗。
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