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中文名稱：硅退火片規(guī)范

英文名稱：Specification for silicon annealed wafers

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 26069-2010

標(biāo)準(zhǔn)類型CN

發(fā)布日期：2011-1-10

實(shí)施日期：2011-10-1

摘要：本規(guī)范規(guī)定了半導(dǎo)體器件和集成電路制造用硅退火拋光片的要求、測(cè)試方法、檢驗(yàn)規(guī)則等。本規(guī)范適用于線寬180nm、130nm和90nm工藝退火硅片。

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