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中文名稱：硅單晶拋光試驗片規范

英文名稱：Specification for polished test silicon wafers

標準號：GB/T 26065-2010

標準類型CN

發布日期：2011-1-10

實施日期：2011-10-1

摘要：本規范規定了半導體器件制備中用作檢驗和工藝控制的硅單晶試驗片的技術要求。

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