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中文名稱：硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

英文名稱：Test method for substitutional atomic carbon concent of silicon by infrared absorption

標準號：GB/T 1558-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準規定了硅中代位碳原子含量的紅外吸收測量方法。 本標準適用于電阻率高于3Ω·cm的p型硅片及電阻率高于1Ω·cm的n型硅片中代位碳原子含量的測定，對于精密度要求不高的硅片，可以測量電阻率大于0.1Ω·cm的硅片中代位碳原子含量。由于碳也可能存在于間隙位置，因而本方法不能測定總碳含量。

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