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中文名稱：硅晶體完整性化學擇優腐蝕檢驗方法

英文名稱：Testing method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

標準號：GB/T 1554-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準規定了用擇優腐蝕技術檢驗硅晶體完整性的方法。

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