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中文名稱：真空技術　濺射離子泵　性能參數的測量

英文名稱：Vacuum technology—Sputter-ion pumps—Measurement of performance characteristics

標準號：GB/T 25755-2010

標準類型CN

發布日期：2010-12-23

實施日期：2011-10-1

摘要：本標準規定了濺射離子泵性能參數的測量方法。本標準適用于名義體積流率大于10L/s的離子泵。本標準測量體積流率的壓力范圍從1.5×10Pa到1×10Pa。

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