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> GB/T 14264-2009半導體材料術語
GB/T 14264-2009半導體材料術語
來源:
標準在線網
中文名稱:
半導體材料術語
英文名稱:
Semiconductor materials—Terms and definitions
標準號:
GB/T 14264-2009
標準類型
CN
發布日期:
2009-10-30
實施日期:
2010-6-1
摘要:
本標準規定了半導體材料及其生長工藝、加工、晶體缺陷和表面沾污等方面的主要術語和定義。 本標準適用于元素和化合物半導體材料。
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