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GB/T 14264-2009半導體材料術語

中文名稱:半導體材料術語

英文名稱:Semiconductor materials—Terms and definitions

標準號:GB/T 14264-2009

標準類型CN

發布日期:2009-10-30

實施日期:2010-6-1

摘要:本標準規定了半導體材料及其生長工藝、加工、晶體缺陷和表面沾污等方面的主要術語和定義。 本標準適用于元素和化合物半導體材料。

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