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GB/T 14146-2009硅外延層載流子濃度測(cè)定汞探針電容-電壓法

中文名稱:硅外延層載流子濃度測(cè)定汞探針電容-電壓法

英文名稱:Silicon epitaxial layers-determination of carrier concentration-mercury probe voltages-capacitance method

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 14146-2009

標(biāo)準(zhǔn)類型CN

發(fā)布日期:2009-10-30

實(shí)施日期:2010-6-1

摘要:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅外延層載流子濃度汞探針電容-電壓測(cè)量方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于同質(zhì)的硅外延層載流子濃度測(cè)量。

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