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中文名稱：硅晶體中間隙氧含量徑向變化測量方法

英文名稱：Testing method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

標準號：GB/T 14144-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準采用紅外光譜法測定硅晶體中間隙氧含量徑向的變化。本標準需要用到無氧參比樣品和一套經過認證的用于校準設備的標準樣品。 本標準適用于室溫電阻率大于0.1Ω·cm的n型硅單晶和室溫電阻率大于0.5Ω·cm的p型硅單晶中間隙氧含量的測量。

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