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GB/T 14142-2017硅外延層晶體完整性檢驗方法　腐蝕法

中文名稱：硅外延層晶體完整性檢驗方法　腐蝕法

英文名稱：Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon—Etching technique

標準號：GB/T 14142-2017

標準類型CN

發布日期：2017-11-1

實施日期：2018-4-1

摘要：

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