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GB/T 14140-2009硅片直徑測量方法

來源：標準在線網

中文名稱：硅片直徑測量方法

英文名稱：Test method for measuring diameter of semiconductor wafer

標準號：GB/T 14140-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準規定了用光學投影儀測量硅片直徑的方法。本標準適用于測量圓形硅片的直徑，可測最大直徑為Φ300mm。本標準不適用于測量硅片的不圓度。

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