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GB/T 14139-2009硅外延片

中文名稱:硅外延片

英文名稱:Silicon epitaxial wafers

標準號:GB/T 14139-2009

標準類型CN

發(fā)布日期:2009-10-30

實施日期:2010-6-1

摘要:本標準規(guī)定了硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規(guī)則及標志、包裝運輸、貯存等。 本標準適用于在N型硅拋光片襯底上生長的n型外延層(N/N+)和在p型硅拋光片襯底上生長的P型外延層(P/P+)的同質硅外延片。產品主要用于制作硅半導體器件。其他類型的硅外延片可參照使用。

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