GB/T 14139-2009硅外延片
中文名稱:硅外延片
英文名稱:Silicon epitaxial wafers
標準號:GB/T 14139-2009
標準類型CN
發(fā)布日期:2009-10-30
實施日期:2010-6-1
摘要:本標準規(guī)定了硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規(guī)則及標志、包裝運輸、貯存等。
本標準適用于在N型硅拋光片襯底上生長的n型外延層(N/N+)和在p型硅拋光片襯底上生長的P型外延層(P/P+)的同質硅外延片。產品主要用于制作硅半導體器件。其他類型的硅外延片可參照使用。
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