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中文名稱：酸浸取-電感耦合等離子質譜儀測定　多晶硅表面金屬雜質

英文名稱：Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry

標準號：GB/T 24582-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準規定了用酸從多晶硅塊表面浸取金屬雜質，并用電感耦合等離子質譜儀定量檢測多晶硅表面上的金屬雜質痕量分析方法。

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