欧美成人精品一区二区男人小说,美媛馆国产精品一区二区,亚洲成人av一区二区,欧美momandson

中文名稱：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質譜檢測方法

英文名稱：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry

標準號：GB/T 24575-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準規定了硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次離子質譜檢測方法，本標準適用于用二次離子質譜法（SIMS）檢測鏡面拋光單晶硅片和外延片表面的Na、Al、K和Fe每種金屬總量。本標準測試的是每種金屬的總量，因此該方法與各金屬的化學和電學特性無關。

>> 更多信息及訂購