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中文名稱：半導體設備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規范

英文名稱：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM)

標準號：GB/T 24468-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-15

實施日期：2009-12-1

摘要：本標準修改采用SEMI E10-0304:2004《設備可靠性、可用性和維修性（RAM）的定義和測量規范》。本標準通過提供半導體制造設備（以下簡稱設備）在制造環境下的可靠性、可用性和維修性（以下簡稱RAM）性能的測量標準，為這種設備的用戶和設備供應商建立一個交流的共同基礎。

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