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GB/T 35306-2017硅單晶中碳、氧含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法

中文名稱:硅單晶中碳、氧含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法

英文名稱:Test method for carbon and oxygen content of single crystal silicon—Low temperature fourier transform infrared spectrometry

標準號:GB/T 35306-2017

標準類型CN

發(fā)布日期:2017-12-29

實施日期:2018-7-1

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