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GB/T 34504-2017藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法

中文名稱：藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法

英文名稱：Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

標準號：GB/T 34504-2017

標準類型CN

發布日期：2017-10-14

實施日期：2018-5-1

摘要：

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