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GB/T 34504-2017藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法

中文名稱:藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法

英文名稱:Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer

標準號:GB/T 34504-2017

標準類型CN

發布日期:2017-10-14

實施日期:2018-5-1

摘要:

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