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中文名稱：摻硼摻磷摻砷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規程

英文名稱：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped,phosphorus-doped,and arsenic-doped silicon

標準號：GB/T 13389-2014

標準類型CN

發布日期：2014-12-31

實施日期：2015-9-1

摘要：

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