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中文名稱：硅片參考面結晶學取向X射線測試方法

英文名稱：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single-crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques

標準號：GB/T 13388-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：硅片的參考面結晶學取向（晶向）是一個重要的材料驗收參數。在半導體器件工藝中，一般利用參考面來校準半導體器件的幾何圖形陣列與結晶學晶面及晶向的一致性。

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