GB/T 23611-2009金靶材
中文名稱(chēng):金靶材
英文名稱(chēng):Gold target
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 23611-2009
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型CN
發(fā)布日期:2009-4-15
實(shí)施日期:2010-2-1
摘要:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金靶材要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于制造半導(dǎo)體電子器件用的各類(lèi)金濺射靶材(以下簡(jiǎn)稱(chēng)金靶材)。
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