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中文名稱：金靶材

英文名稱：Gold target

標準號：GB/T 23611-2009

標準類型CN

發(fā)布日期：2009-4-15

實施日期：2010-2-1

摘要：本標準規(guī)定了金靶材要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存及訂貨單（或合同）內容。 本標準適用于制造半導體電子器件用的各類金濺射靶材（以下簡稱金靶材）。

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