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中文名稱：硅片徑向電阻率變化的測量方法

英文名稱：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 11073-2007

標(biāo)準(zhǔn)類型CN

發(fā)布日期：2007-9-11

實(shí)施日期：2008-2-1

摘要：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針法測量硅片徑向電阻率變化的方法。

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