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GB/T 11073-2007硅片徑向電阻率變化的測量方法

中文名稱：硅片徑向電阻率變化的測量方法

英文名稱：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

標準號：GB/T 11073-2007

標準類型CN

發(fā)布日期：2007-9-11

實施日期：2008-2-1

摘要：本標準規(guī)定了用直排四探針法測量硅片徑向電阻率變化的方法。

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