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GB/T 11068-2006砷化鎵外延層載流子濃度 電容-電壓測量方法

中文名稱:砷化鎵外延層載流子濃度 電容-電壓測量方法

英文名稱:Gallium arsenide epitaxial layer—Determination of carrier concentration voltage-capacitance method

標準號:GB/T 11068-2006

標準類型CN

發(fā)布日期:2006-7-18

實施日期:2006-11-1

摘要: 本標準規(guī)定了砷化鎵外延層載流子濃度電容-電壓測量方法,適用于砷化鎵外延層基體材料中載流子濃度的測量。測量范圍。

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